标签： EUV光刻专利

在半导体工艺进入7nm之后，EUV光刻机就成为兵家必备大杀器了，全球也只有ASML公司能生产，单价达到10亿人民币一台。不过在今年的EUV专利申请量上，蔡司排名第一，三星也超过了ASML。