标签： ArF浸入式光刻机

根据苏州晶瑞化学股份有限公司（以下简称“晶瑞股份”）旗下的官方微信公众号“晶瑞化学”发布信息显示，1月19日，晶瑞股份购买的ArF浸没式光刻机顺利搬入实验室，当天晶瑞股份还举办了ArF光刻机搬入庆祝仪式。