密码保护：国产光刻机真相到底如何？
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标签： 28nm光刻机
密码保护：国产“28nm光刻机”最新进展：浸液系统项目已成功交付0号样机、1号机，进入产品制造阶段
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中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户！
2月7日，农历新年后开工第一天，上海微电子装备集团（以下简称“上海微电子”）正式举行“中国首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式”，由上海微电子生产的中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户。不过，具体客户未知。
台湾媒体闹“乌龙”：上海微电子“被出货”46台28nm光刻机
12月6日消息，台湾《经济日报》和联合新闻网近日同时发布报道称，11月26日在青岛正式投产的富士康集团首座晶圆级封测厂，引进多达46台上海微电子生产的28nm光刻机，并同时称这意味着大陆生产的光刻机实现从90nm到28nm的跨越。
