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10月8日消息，据国产半导体设备厂商合肥芯碁微电子装备股份有限公司(以下简称“芯碁微装”）官方消息，今年9月，芯碁微装首台WLP2000晶圆级封装直写光刻机已发运至昆山某封测厂；当月，另一台WLP2000直写光刻机也已发往成都某Micro-LED研制单位交付。