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10月18日晚间，半导体设备厂商至纯科技发布公告，旗下控股子公司至微半导体(上海)有限公司(以下简称至微科技)拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让。公告显示，此次引入的战略投资者包括远致星火、大基金二期、混改基金、中芯聚源、上海装备材料基金等，合计向至微科技增资4.2亿元。