标签： 离子注入机

3月21日，国产半导体设备厂商上海凯世通半导体股份有限公司（以下简称“凯世通”）在SEMICON China 2024上海国际半导体展览会上，发布了面向CIS的大束流离子注入机新产品。

1月26日，北京烁科中科信电子装备有限公司通过官方微信宣布，近日，公司多台离子注入机顺利完成交付。

6月29日，据中国电子科技集团有限公司官方消息，该集团旗下中电科电子装备集团有限公司（以下简称“电科装备”）已实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖，有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。

2月7日晚间，万业企业发布公告称，控股孙公司北京凯世通拟向重要客户出售了多台12英寸集成电路设备，包含低能大束流离子注入机、低能大束流超低温离子注入机，总交易总金额达6.58亿元人民币。

据新华网报道，中国电子科技集团有限公司于3月17日对外宣布，该集团旗下装备子集团攻克系列“卡脖子”技术，已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，包括中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28nm，为我国芯片制造产业链补上重要一环，为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。

6月30日消息，据新华社报道，中国电子科技集团宣布，由该集团旗下电科装备自主研制的高能离子注入机，成功实现百万电子伏特高能离子加速，性能达到国际先进水平。

近日有消息显示，万业企业（600641.SH）全资子公司凯世通的低能大束流集成电路离子注入机已搬进杭州湾洁净室，目前正在根据集成电路芯片客户工艺要求，进行离子注入晶圆验证。