业界 GlobalFoundries:7nm进展顺利,极紫外光刻良率已达65%! GlobalFoundries首席技术官Gary Patton近日在上海举行的一次技术会议上披露,GF EUV极紫外光刻技术的良品率已经提高到65%,公司将按计划推进EUV的商用和普及。2017年10月26日