业界 上海微电子发布新一代先进封装光刻机,首台产品将于年内交付 9月19日,上海微电子装备集团(以下简称“上海微电子”)官方发布消息称,上海微电子于9月18日举行新产品发布会,宣布推出SSB520型新一代大视场高分辨率先进封装光刻机。2021年9月19日