标签： 上海半导体装备材料基金

上海瀚薪科技有限公司（以下简称“上海瀚薪”）1月11日宣布，公司近日完成Pre-A轮融资，本轮融资由上海半导体装备材料基金领投，跟投方包括上汽集团旗下尚颀资本和恒旭资本、汇川技术的全资投资平台汇创投等。