12月23日消息,据日本媒体报道,比利时微电子研究中心(imec)携手日本化工及极紫外光(EUV)光罩保护膜大厂三井化学共同宣布,为了推动针对EUV光刻的碳纳米管(CNT)光罩保护膜技术商业化,双方正式建立策略伙伴关系。
12月4日消息,据韩国媒体Business Korea报导,三星电子DS部门研究员Kang Young-seok表示,三星使用的EUV光罩保护膜(EUV pellicles)透光率(transmission rate)已达90%,计划将进一步提高至94-96%。
2月15日消息,据韩国媒体BusinessKorea报导,三星正在开发极紫外光(EUV) 光罩保护膜 (Pellicle) ,希望借此提高EUV系统生产芯片的良率以缩小与竞争对手台积电的市占率差距。
日本化工大厂三井化学于5月27日通过官网宣布,将全面收购旭化成的半导体和LCD制造工艺中光掩膜薄膜业务。收购价格将根据最终协议进行调整后确定。即三井化学将根据与旭化成商定的74亿日元(约人民币3.83亿元)薄膜业务价格为基础进行调整。