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Imec携手三井化学,推动EUV碳纳米管光罩保护膜商用

Imec携手三井化学,推动EUV碳纳米管光罩保护膜商用
12月23日消息,据日本媒体报道,比利时微电子研究中心(imec)携手日本化工及极紫外光(EUV)光罩保护膜大厂三井化学共同宣布,为了推动针对EUV光刻的碳纳米管(CNT)光罩保护膜技术商业化,双方正式建立策略伙伴关系。

三星自研EUV光罩保护膜透光率已达90%

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12月4日消息,据韩国媒体Business Korea报导,三星电子DS部门研究员Kang Young-seok表示,三星使用的EUV光罩保护膜(EUV pellicles)透光率(transmission rate)已达90%,计划将进一步提高至94-96%。

传三星自研EUV光罩保护膜已量产

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2月15日消息,据韩国媒体BusinessKorea报导,三星正在开发极紫外光(EUV) 光罩保护膜 (Pellicle) ,希望借此提高EUV系统生产芯片的良率以缩小与竞争对手台积电的市占率差距。