国产光刻机 - 芯智讯

密码保护：国产“28nm光刻机”最新进展：浸液系统项目已成功交付0号样机、1号机，进入产品制造阶段

28nm光刻机国产光刻机浸没式光刻机浸润式光刻机

密码保护：国产“28nm光刻机”最新进展：浸液系统项目已成功交付0号样机、1号机，进入产品制造阶段

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2周前 (06-16)
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解决“卡脖子”问题，国产光刻机项目用了他们的光源

光刻机国产光刻机百合光电

解决“卡脖子”问题，国产光刻机项目用了他们的光源

从正面看去，一个比例被放大数十倍的立体玉龙跃然眼前，可当你伸手去触摸时，却只碰到了空气（见下图），2月20日，在位于新乡市红旗区新东产业集聚区的百合光电有限公司（以下简称百合光电）...

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4个月前 (02-22)
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国产“28nm光刻机”又跳票？到底卡在了哪里？

28nm光刻机 SSA800/10W 上海微电子国产光刻机

国产“28nm光刻机”又跳票？到底卡在了哪里？

近日，网上有传闻称，上海微电子的“28nm光刻”（传闻型号为SSA800/10W）机没有通过02专项的国家验收，无法在2021年底完成，28nm光刻机卡住了“02专项”。该消息随后...

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8个月前 (11-17)
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不用EUV也能实现5nm？中科院研发新型激光光刻技术

ASML EUV光刻机上海微电子中科院中科院苏州纳米所光刻机国产光刻机

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近日，据中国微米纳米技术学会报道，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所张子旸研究员，与国家纳米科学中心刘前研究员合作，在《纳米快报》（Nano Letters）上发表了题为《超分...

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2年前 (2020-07-09)
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