随着台积电3nm制程的即将在下半年量产，近日台湾媒体曝光了台积电3nm制程的部分耗材供应商。报道称，台湾钻石碟（抛光垫）供应商中国砂轮企业股份有限公司（以下简称“中砂”）与靶材厂光洋应用材料科技股份有限公司（以下简称“光洋科技”）已近入了台积电最先进的3nm制程供应链，打破了过往台积电先进制程量产初期，相关耗材均由美、日大厂垄断的局面。

业界分析，台湾耗材厂产品质量与价格都较美日厂商更具优势，不仅有助台积电优化成本，对中砂、光洋科技等业者来说，有了台积电的3nm制程认可，也将成为开拓海外市场，争取英特尔、三星等国际大厂订单的利器。

根据台积电的规划，3nm制程将如期于今年下半年量产。台积电总裁魏哲家此前在法说会上强调，3nm是继5nm之后，台积电另一个长期成长节点，客户看来也比预期多，主要用于高速运算与智能手机领域。

台积电高度重视3nm生产，中砂、光洋科技产品获得量产初期导入采用，凸显产品优势与品质稳健。中砂、光洋科技都对入列台积电3nm第一批名单低调，不愿多谈。

业界透露，钻石碟主要用于薄膜制程之后的平坦化制程，牵动台积电制程良率，台积电先进制程多采用一家有数字开头为名的美商产品，如今大量导入中砂的钻石碟，凸显中砂产品已与国际大厂并驾齐驱。

据了解，为配合台积电持续耕耘先进制程，中砂特地购买与客户生产线上一模一样的CMP设备，另外在检测设备大投资，希望透过模拟与检测先找出可能的问题，让自家的钻石碟产品能确实符合客户的需求。由于3nm制程所用钻石碟要求规格较高，中砂必须为此开发新技术，所以相关产品售价也随着提高，推升中砂业绩火热。

靶材是半导体溅镀材料，也是生产过程当中不可或缺的关键。过往台积电靶材供应商主要以日商日矿与美商Honeywell为主。

为分散供应链，台积电也与光洋科技合作，在南京厂28nm制程也有导入光洋科技产品，双方也共同开发高纯度6N的铜合金靶材，去年底开始小量出货并通过验证，近期出货量持续成长中。据悉，光洋科技与台积电在先进制程合作，初期从7nm开始进入，并延伸至5nm。光洋科技在台积电供应链和国际靶材大厂同台竞争下，产品获肯定后，顺势进入更先进的3nm制程供应链。

光洋科技为取代美、日大厂，成为台积电3nm靶材供应商，去年已建立大型靶材塑型成形中心，目前该公司新建置的大型靶材塑型成形中心已完工，未来将用于生产18吋的大型靶材，规划三阶段扩产，有助今年半导体工缴呈现逾倍数增长，也将带动该公司在半导体领域占工缴比重正式突破三成。

编辑：芯智讯-林子   来源：经济日报