众所周知，荷兰艾司摩尔（ASML）光刻机一直是半导体制造的关键设备，尤其独家生产的极紫外光刻机（EUV）更是不可或缺，也是协助台积电、三星、英特尔能往更先进制程发展的重要设备，美国限制中国大陆无法取得EUV光刻机，压制中国大陆半导体发展。

近日，《路透社》专访技术了ASML开发副总裁Tony Yen，对ASML 的经营、文化、产品发展进行了一番解析。

问：您如何描述ASML EUV 及功能。

答：我们制造的机器是光刻工具，生产每个人都需要的芯片。目前台积电、三星、和英特尔是我们的三大客户。

问：ASML 为该领域的领导者，具备哪些要素？显然有入门障碍，如前期成本和技术技能。但为什么其他公司不能复制？

答：ASML 根植于荷兰文化，公司的决心、工程师的组成、管理层和客户是成为领导者的因素。

荷兰人口虽然只有1,700 万，但公民都受过高等教育。ASML 拥有许多博士和硕士学位员工，且公司非常国际化，餐厅可听到各种语言交谈，包括中文、俄文、东欧文、西班牙文、义大利文、德文等。

因国际化特性，员工被公司文化吸引，这非常重要，将使公司注重结果，且由技术带动的发展容易实现。公司高阶领导人都拥有物理学博士学位或物理学家学位，在ASML 扮演关键角色。他们帮助ASML 透过物理学常识发展特殊设备机械，包括提供先进芯片使用的EUV光刻机，这是ASML 成为领导者的关键之一。

问：ASML 何时开始考虑发展EUV？

答：大概始于2000 年，公司决定大量开发与生产光刻机。当时日本厂商没有做，因觉得EUV 系统非常复杂，且无法确保EUV 设备100% 起作用。

ASML 有德国合作伙伴蔡司（ZEISS），生产光学系统为主，历史可追溯到1850 年。ASML 与蔡司合作，蔡司专门为ASML 制造光学系统。ASML 也为蔡司许多开发提供资金，因此蔡司只能出售半导体相关光学系统给ASML。ASML 还收购了美国圣地亚哥Cymer，这是使EUV 发挥作用的另一家关键厂商。

问：ASML 如何将产品推广到市场，且之后生产出符合需求和规格的产品？

答：从早期开发阶段开始，两者是相互的。客户采用ASML 早期设备，可靠性不高，这些机器有50% 时间是停机状态，却能提升生产芯片所需的功能。如果客户提升芯片生产，或生产更小的芯片，就必须选择ASML 的机器，但当时这些机器不是必要设备。

第一台EUV 于2010 年送交三星，2011 年送交台积电，这些都是早期机器。ASML 经历许多研发，且也让客户知道ASML 长期参与客户开发产品的过程，让他们对我们设备有信心。对最早期的客户，ASML 将开发工具放在客户端，并物理上与客户共同开发技术，互相合作的基础上，开发出达到客户需求的产品。

问：可说明先进制程7nm、5nm、3nm发展状况吗？还有先进制程技术的转移状态？

答：大规模生产最先进制程技术是5nm节点，是台积电和三星目前的技术。英特尔5nm制程节点落后，甚至7nm制程节点也没有大规模生产。必须注意的是，因英特尔有更高等级的设计规则，因此英特尔7nm节点相当于台积电和三星的5nm节点。相关技术并非完全一模一样，很难说哪家产品较优异。

客户转向更高级制造流程，一般所需时间约5 年。ASML 会与客户相互发展目标，虽无法透露细节，不过大致上是规划产品，然后获得董事会许可开发。一旦产品开发成功进入量产阶段，出口地点不是受管制国或地区，预计2 年就会运交量产型产品设备。

问：您一定常被问到，且目前情况会加剧的这问题：对摩尔定律到极限有什么看法？

答：许多人说摩尔定律失效或减速，但我认为没有，也没有减速。就ASML的看法，摩尔定律可能还会再延续10 年，甚至更长。且芯片面积微缩未来还可持续至少10年。

人们谈论的堆叠芯片的做法，就是所谓的3D整合，台积电和三星对此也进行了很多讨论。ASML 的看法，虽然3D 整合正在发生，但2D 平面芯片面积微缩仍至少可持续10年。为此目标，ASML 下一代EUV光刻设备也积极开发。

问：ASML 是否考虑投资机器学习或5G 标准，这将影响市场需求吗？对ASML 来说是否太下游？

答：这距离不算太远，因苹果、三星、高通等都在生产5G 芯片。华为进入实体清单，因此市场位置被小米和其他中国品牌接收，高通通过三星5nm制程生产的高阶芯片，目前进入大量生产，ASML 也在享受美好成果。

问：您对地缘政治有什么看法？

答：我不是发言人，但ASML 遵守所有法律。如果我们机器一部分是美国制造，且有人列入实体清单，我们就必须遵守美国出口法令。

ASML 美国公关经理Brittney Wolff 补充，这是ASML 必须非常认真考虑的事，因为在许多国家地区都有业务。但ASML 在任何地方发展业务时都遵守当地法令规定，且从来没有遇到任何挑战。

编辑：芯智讯-林子   来源：路透社、technews